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激光設(shè)備系統(tǒng)組成及主要技術(shù)性能 1、激光系統(tǒng) （1）激光器 紫外激光器具有顯著***點： 1） 增益介質(zhì)的表面積/體積比大 2） 固有的全封閉柔性光路 3） 光路具有免維護***性 4） 單芯結(jié)二極管泵浦激光模塊 5） 壽命長 采用單芯結(jié)半導(dǎo)體泵浦激光器作為紫外激光器的泵浦源，全紫外激光器將具備長壽命的***點，因此，紫外激光器的***低使用壽命都已經(jīng)超過100000小時。 6） 體積小重量輕 7） 節(jié)水節(jié)電節(jié)成本 紫外激光器具有優(yōu)異的熱性能，電光效率較高，節(jié)水節(jié)電，尤其重要的是可長期免維護使用，可節(jié)約大量維護經(jīng)費和時間，提高工作效率。 2、光學(xué)及觀察系統(tǒng) （1）光學(xué)系統(tǒng): 355nm基于振鏡的高精度反射、聚光系統(tǒng)。 （2）擴束鏡: 光束反射前4倍擴束組合透鏡。 （3）激光校正 選用0.6328μm的LD激光準(zhǔn)直系統(tǒng)指示光軸位置,指示光與激光同軸,在加工時可達到尋跡指示的功能,并及時進行精確對位。 3、高速數(shù)字振鏡掃描和聚焦系統(tǒng) 采用進口技術(shù)高速度、高精度振鏡掃描電機及掃描器 高光學(xué)質(zhì)量聚焦透鏡。 （1）掃描器 分辨率0.001mm 重復(fù)精度±0.01mm 直線掃描速度***大至9000mm/s （2）F-θ平場透鏡 |
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